英伟达宣布在 GTC 2023 上,与台积电、ASML 和 Synopsys 这三大半导体行业巨头合作,加速将计算光刻技术整合到芯片设计和制造领域,并推出了名为“cuLitho”的计算光刻库。
计算光刻主要是利用软件对整个光刻过程进行建模和仿真,利用光掩模文件的数学预处理来调整光刻中的像差和效应,优化光源和掩模形状,最大限度地减少光刻成像和芯片设计之间的差异,最终提高良率. 然而,随着芯片制造向3nm及以下的方向发展,每个光掩模的负担呈指数增长,增加了制造难度。

目前,计算光刻构成了芯片设计和制造中最重要的计算负担。大型数据中心必须全天候 24/7 运行,每年消耗数十亿个 CPU 小时来为光刻系统创建光掩模,资本支出和能源消耗惊人。NVIDIA与台积电、ASML、Synopsys合作,时隔四年在计算光刻技术上取得重大突破,推出cuLitho库,为下一代2nm工艺奠定基础。
NVIDIA断言,使用 GPU 而不是 CPU 进行计算可以将计算光刻效率提高 40 倍。cuLitho 库支持将工作负载转换为 GPU 并行处理,允许 500 个 NVIDIA DGX H100 完成 40,000 个 CPU 系统的任务。这显着减轻了晶圆厂的负担,仅需九分之一的功耗即可每天生产三到五倍的光掩模,而光掩模以前需要两周才能生产,现在需要通宵处理。
从长远来看,在人工智能技术的帮助下,cuLitho 计算光刻库可以实现更优的设计规则、更高的密度和更高的良率。
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