台积电目前正在 N3 工艺节点上开发多个工艺,包括 N3、N3B 和 N3E。去年,台积电总裁魏浙江表示,N3工艺节点仍采用FinFET晶体管的结构。推出后,将成为业界最先进的PPA和晶体管技术,也将成为台积电又一个大规模量产耐用的工艺节点。

据TechPowerup报道,摩根士丹利近期的一份报告显示,在 N3 基础上扩展的 N3E 已经提前准备好,工艺流程可能会在本月底确定。台积电原计划在2022年下半年量产N3工艺节点。作为3nm工艺的简化版,N3E将于2023年下半年量产。由于N3E测试时良率较高量产,台积电希望更早实现商业化,最早可能在2023年第二季度。
据了解,N3E在N3的基础上减少EUV掩膜层数,从25层减少到21层,逻辑密度降低8%,但仍比N5工艺节点高60%。另外,N3E的良率比N3B高,传闻是N3的改良版,为部分客户开发使用,但目前缺乏相关资料。N3E和N3B都不是用来代替N3的,而是为了给客户在不同产品上更多的选择和更好的性能和功耗。
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