英特尔可能会重新专注于设计用于 2nm 或以下半导体工艺的晶体管。最近,一项新专利似乎为英特尔指明了方向,即“堆叠叉板晶体管”技术,以保持摩尔定律的发展。该专利没有提供太多细节,英特尔也没有提供 PPA(power-performance-area)改进数据以供参考。
英特尔表示,新的晶体管设计最终可以实现 3D 和垂直堆叠的 CMOS 架构,与当前最先进的三栅极晶体管相比,该架构允许增加晶体管数量。在专利中,英特尔描述了纳米带晶体管和锗薄膜的使用。锗薄膜将充当介电隔离墙,在每个垂直堆叠的晶体管层中重复,最终取决于彼此堆叠的晶体管数量。

英特尔在 2019 年的 IEDM 活动中展示了 3D 逻辑集成(当时称为堆叠纳米片晶体管技术)的研究。至于相关技术如何提高晶体管密度、性能和能效的具体数据,英特尔迄今尚未披露。
比利时研究机构Imec于2019年宣布,已开发出首个相关技术的标准单元模拟结果,显示应用于2nm制程节点时,可较传统方法显着提升晶体管密度。它预计在恒速下速度提高 10% 或能效提高 24%,单位面积减少 20%。此外,静态随机存取存储器(SRAM)占用的空间将显着减少 30%。

事实上,英特尔和Imec在纳米电子领域有着密切而长期的联系,后者的研究成果也是英特尔新专利的基础。
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